真空箱式氦檢漏儀應(yīng)用于消防器材檢漏
2024.06.01
真空箱式氦檢漏儀的較小可檢漏率（靈敏度），指的是在檢漏裝置在處于一個較佳的工作條件下（示漏氣體采用的是一個大氣壓的純氦），做“動態(tài)檢漏”時能檢出的較小漏孔的漏率。
1、較佳工作條件。
指被檢鍍膜設(shè)備部件的材料出氣很少，且沒有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。
2、動態(tài)檢漏。
指不用累積法進(jìn)行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進(jìn)行抽真空，裝置的反應(yīng)時長小于3s，3s當(dāng)中的抽氣系統(tǒng)的時間常數(shù)是小于一秒的；
3、較小可檢。
指其信號是本底噪聲的兩倍；
4、漏孔的漏率。
指干燥空氣（100kPa的壓力）經(jīng)漏孔通向真空端（遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于100kPa的壓力）的漏率。
對氦分壓變化有反應(yīng)的氦質(zhì)譜檢漏儀，為表征這種反應(yīng)特性，較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質(zhì)譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號與裝置噪聲比為一或二時，當(dāng)中氦的濃度。
真空箱式氦檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。
逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。
這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進(jìn)氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。
